日前,国内最大的晶圆代工厂中芯国际又一个重要项目开始量产。位于浙江绍兴的中芯绍兴成功完成晶圆设备链调试。8英寸晶圆月产能增至7万片,良品率达99%。

目前半导体领域应用范围最广的是8英寸、12英寸晶圆。中芯绍兴量产成功的8英寸晶圆,可用于智能汽车、智能家居家电的芯片制造。

中芯集成电路制造(绍兴)有限公司由中芯国际、绍兴市政府、盛洋集团共同出资设立。2018年5月18日,中芯绍兴8英寸厂房项目举行奠基仪式,标志着中芯国际微机电和功率器件产业化项目正式落地绍兴。2020年1月中芯集成电路制造(绍兴)有限公司8英寸项目正式量产,产能爬坡迅速。

中芯绍兴布局三大工艺平台:一是 MEMS 平台,包括MEMS麦克风、压力传感器、超声波传感器、振荡器、加速度计、陀螺仪;二是MOSFET工艺平台,包括沟槽式MOSFET、分栅式MOSFET以及超结MOSFET;三是立足场截止型(Field Stop)IGBT结构。


来源:人民邮电报